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《中国力学学会学术大会'2005论文摘要集(下)》2005年
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微槽道气体流动测量数据的评估

樊菁  谢冲  蒋建政  
【摘要】:正 许多研究者仔细地测量了微槽道气体的质量流量和流向压力分布[Pong et al.1994;Harley et al.1995;Shih et al.1996;Arkilic et al.1997,2001;Zohar et al 2002]。对这些在不同实验条件下获得的数据进行评估,对于利用这些数据检验各种滑移模型和计算方法以及实际MEMS器械中微槽道的设计和优化都有着重要意义。本文根据微槽道质量流量守恒要求导出了在全部流动领域都适用的质量流量和压力分布表达式

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【引证文献】
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1 谢冲;樊菁;;二阶速度滑移边界条件的评估[A];中国力学学会学术大会'2005论文摘要集(下)[C];2005年
2 杨学军;蒋建政;樊菁;;Poiseuille流动的Beskok修正公式[A];中国力学学会学术大会'2005论文摘要集(下)[C];2005年
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