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《中国力学学会学术大会'2005论文摘要集(下)》2005年
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微机电系统双压电薄膜多自由度加速度传感器

孙博华  张睿  
【摘要】:正 使用压电薄膜(PZT)制造微机电系统传感器可以具有很简单的结构以及较高的灵敏度,所以近年来在研究领域得到了很大的关注。本文研究了一种比较简单的固支空间结构、并在梁上铺设单层压电薄膜传感器,实现在同一装置上同时测量多个自由度上的加速度。本文通过对对该结构用有限元进行了模态分析,然后推倒出加速度传感器解析方程。这个

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