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超高频纳米力学谐振子

黄学明  孙博华  
【摘要】:正 近年来,越来越多的研究都关注于超高频纳米机械系统的研究,这方面的研究也为未来的应用开辟了一个广阔的前景。在本文中,综述了该领域最新的进展及未来的发展方向。其中对以下几个问题给予了特别的阐述。如选取合适的材料,优化制造工艺,使用极高敏感度的高频、超高频读写

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