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材料纳米力学性能测试与表征

高阳  
【摘要】:正 纳米压痕技术经过近20年的发展已成为一种精确的力学性能测试手段,广泛地应用于各种领域。本文工作中所有压痕、划痕试验均是在MTS公司Nano Indenter XP上进行,采用标准Berkovich金刚石压针。实验采用连续刚度测量选件(CSM)获得材料在恒定应变率下变形时弹性接触刚度,以及水平力测量选件(LFM)测量法向力和切向力的连续变化。CSM测试除对体材料的硬度(H)与弹性模量(E)进行很好表征外,对薄膜材料具有更大的优势。因为CSM可给出硬度和弹性模量对压痕深度的连续函数曲线,可以方便地得到薄膜或超薄膜材料E和H值。

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