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名称:广东省真空学会
省份:广东省

粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会论文集

会议论文
基于平面镀膜的两轴卷绕系统的研究 陈健鹏;潘振强;
原子层刻蚀及原子层沉积技术在半导体器件表面钝化中的应用 陈意桥;陈超;张国祯;
大功率溅射一步法制备的自调节Cu/CuO超疏水电极涂层 安小凯;吴忠振;刘亮亮;周林;唐伟;马正永;吴忠灿;Ricky KY Fu;田修波;林海;Paul K Chu;潘锋;
CdTe和Sb_2Se_3太阳电池及其真空制备技术 麦耀华;
一种真空用电机的特点和制造方法 鹿启帅;
多孔空心碳球负极结合羧甲基纤维素钠粘结剂的储钾性能研究 黎晋良;麦文杰;
气相法制备钙钛矿太阳能电池 林东旭;杜相;何锐辉;谢伟广;刘彭义;
巯基苯甲酸(4-MBA)修饰TiO_2致密层的钙钛矿太阳能电池性能研究 吴步军;杜相;
电弧离子镀工艺参数对CrAlN薄膜抗冲蚀性能研究 刘灵云;林松盛;王迪;李风;代明江;石倩;韦春贝;李洪;郭朝乾;苏一凡;
基于ALD界面调控增强的全无机钙钛矿光电探测器 岑国标;刘于金;郑景博;苏春华;王改;赵志娟;付勇;赵传熙;麦文杰;
电子束卷绕真空镀膜技术概况 高德铨;
真空辅助镀膜的离子源技术应用 刘伟基;冀鸣;
栅网型离子源在真空加工领域技术应用 刘伟基;冀鸣;
磁控溅射制备镍铬硅薄膜电阻的湿法刻蚀工艺研究 罗俊尧;杨曌;李保昌;沓世我;
薄膜功能元器件的研制与展望 杨曌;
Al-DLC薄膜的制备及性能研究 彭雅利;代明江;郭朝乾;林松盛;石倩;韦春贝;李洪;苏一凡;
磁控溅射制备CrSiCN多元硬膜的研究 朱惠钦;潘振强;梁凯基;
四面体非晶碳(ta-C)膜的应用 李标章;
大型中频磁控溅射镀膜机制备高档CrC黑色装饰膜的研究 林晓棋;曾琨;曾妩;李迎春;袁振海;李志荣;罗志明;
含氢掺钨类金刚石薄膜微结构演变及其力学与摩擦学性能 许伟;周克崧;林松盛;代明江;韦春贝;石倩;
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